RU 系列增量式光柵尺由RU2系列讀數(shù)頭和尺身組成。RU2讀數(shù)頭采用大面積單場掃描技術(shù)，保證了其出色的抗污染能力，2mm的大安裝間距保證了快速安裝同時又實現(xiàn)了更大的容差。實時自動增益控制保證了在各種環(huán)境下工作的穩(wěn)定性。高達(dá)1000倍的內(nèi)部細(xì)分可滿足各種控制器的需求。相位光柵和單場掃描在保證抗污染的同時更保證了優(yōu)秀的李沙育圓度，降低了細(xì)分的誤差。

與RU2讀數(shù)頭配合使用的RUS鋼帶柵尺采用了超硬高彈且抗腐蝕的特種基材，優(yōu)秀的機(jī)械和化學(xué)特性保證了其長期使用的穩(wěn)定可靠，利用先進(jìn)的激光干涉刻線工藝，可實現(xiàn)20微米柵距的精細(xì)刻劃，并保證小于40納米的刻線誤差。這是確保RUS柵尺異常強(qiáng)大的精度基礎(chǔ)。尺身自帶背膠，利用貼尺工具可以實現(xiàn)快速安裝。