FL-10光纖激光干涉尺是一種超高精度位置閉環反饋系統。利用與激光干涉儀相同的測量原理加上特有的實時環境補償技術,使整個系統達到與激光干涉儀相同的位置反饋精度。
測量探頭采用光纖傳導方式與主機相連使得探頭體積小巧,安裝靈活,同時斷絕了熱輻射對測量精度的影響。經過補償后的位置數據通過標準的TTL和SinCos信號輸出,幾乎可以與任何控制器連接。
低于300ns的時間延遲保證了超高的帶寬,滿足超高精度,同時也得到了比傳統光柵尺更大動態范圍。
光纖激光干涉尺參數表 |
測量精度
| 0.8ppm(0.8um/m)
| 電源
| DC 24V±2V,3A(MAX)
|
分辨率
| 0pm-1um(TTL) 20-1um(SinCos 1Vpp)
| 數字接口
| 差分TTL 2.5M
|
測量行程
| 0~4m(更長可定制)
| 模擬接口
| SinCos 1Vpp 600K
|
測量速度
| ≥1m/s(更快可定制)
| 串行協議
| BiSS 8M
|
響應時間
| <300ns
| 計算機接口
| USB 2.0
|
真空波長精度
| 0.05ppm(24小時) 0.1ppm(3年)
| 原點鎖存接口
| 光耦輸入
|
激光探頭尺寸
| 35×51×83mm
| 工作溫度
| 5℃~40℃
|
反射鏡類型
| 平面、角錐、差分型
| 工作壓力
| 70KPa~115KPa
|
激光對準調整范圍
| ±2°
| 工作濕度
| 0~95% RH(非凝露) |